按工作原理分類(lèi)

氣體輸送泵：氣體輸送型的真空泵又可分為變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵，其中變?nèi)菡婵毡糜型鶑?fù)式、旋片式等多種，動(dòng)量傳輸泵有分子真空泵、噴射真空泵、擴(kuò)散泵、擴(kuò)散噴射泵、離子輸運(yùn)泵等多種。

氣體捕集泵：包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等。

按真空度分類(lèi)

可分為粗真空度真空泵、高真空度真空泵和超高真空度真空泵三種，其中高真空度真空泵又有滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵三種。

按真空泵結(jié)構(gòu)分類(lèi)

機(jī)械式：類(lèi)似于壓縮機(jī)，屬于容積型的有往復(fù)式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動(dòng)力式的渦輪分子泵，都屬于抽除式真空泵。

噴射式：有噴射泵與擴(kuò)散泵兩種，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。

吸著式：依靠物理或化學(xué)方法使氣體分子吸在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。

按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類(lèi)

主抽氣泵：實(shí)現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。

預(yù)抽氣泵：當(dāng)主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開(kāi)始抽吸時(shí)，需預(yù)抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進(jìn)入工作。

前級(jí)泵：當(dāng)主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時(shí)，需串接前級(jí)泵排送。

維持泵：當(dāng)主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。